CVD金剛石從紫外(UV)到太赫茲(THz)幾乎連續(xù)的波段范圍光學透明,未鍍增透膜的CVD金剛石透過率達71%,并且具有所有已知材料中最高的硬度和導熱性,還具有極高的耐磨性、化學惰性和優(yōu)良的抗輻射性,CVD金剛石優(yōu)異性能的組合在X射線、紫外、紅外、微波等多個波段范圍可實現(xiàn)應用。
性能項
光學級
多晶
單晶
生長方法
MPCVD
尺寸(mm)
Ф50-Ф150
≥8@通光方向
透過率(%,厚度1mm)
>60%@λ>500nm
>70%@λ>10μm
>65%@λ>500nm
>71%@λ>10μm
吸收系數(shù)(cm-1)
<0.12@λ=1.06μm
<0.07@λ=10.6μm
<0.10@λ=1.06μm
<0.05@λ=10.6μm
熱導率(W/mK@300K)
>1800
>2200
熱膨脹系數(shù)(10-6/K@300K)
1.0
介電常數(shù)
5.5±0.2@140GHz
/
介電損耗
<6×10-5@140GHz
維氏硬度(GPa)
80
70-120
厚度(mm)
≥1
厚度公差(mm)
±0.03
平行度(um/cm)
≤5
≤4
平面度PV值(fringe/cm@633nm)
≤1
≤1/3
粗糙度Ra(nm)
≤10
≤2
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